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世界各國各標準機構的潔凈室等級標準和規(guī)范

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經濟科技發(fā)達國家和地區(qū)都有自己的潔凈室等級標準和規(guī)范，都規(guī)定了相關的潔凈度等級。
例如，美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。1984年，中國頒布了《潔凈廠房設計規(guī)范》(GBJ73-84)，1996年對該規(guī)范進行了重大修改，1990年頒布了《潔凈室施工驗收規(guī)范》(JGJ71-90)，指導施工驗收。目前，該規(guī)范正在重新修訂中。
GBJ73-84規(guī)定的清潔度等級。
等級 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù) 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù)
100 《35*100（〈3.5〉  
1000 《35*1000（〈35〉 《250（〈0.25〉
10000 《35*10000（〈350〉 《2500（〈2.5〉
100000 《35*100000（〈3500〉 《25000（〈25〉

美國聯(lián)邦標準FS209E中的潔凈等級
等級名稱 等級限值
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
容積單位 容積單位 容積單位 容積單位 容積單位
國際單位 英制
單位		 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3
M1.0   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 / /
M1.5 1 1240 35.0 265.0 7.5 106 3 35.3 1 / /
M2.0   3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 / /
M2.5 10 12400 350.0 2650 75 1060 30 353 10 / /
M3.0   35000 991.0 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 / /
M3.5 100 / / 26500 750 10600 300 3530 100 / /
M4.0   / / 75700 2140 30900 875 10000 283 / /
M4.5 1000 / / / / / / 35300 1000 247 7
M5.0   / / / / / / 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 / / / / / / 353000 10000 2470 70
M6.0   / / / / / / 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 / / / / / / 3530000 100000 24700 700
M7.0   / / / / / / 10000000 283000 61800 1750

美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級
生物
潔凈
室標準		 塵埃 生物粒子 壓力 溫度 濕度 氣流 照度
粒徑
(μm)		 個/L 浮游量
(個/L)		 浮沉量
(個/m2周)		 mmH2O ℃ % 換氣
次數(shù)		 Lx
100 ≥0.5 ≤3.5 ≤0.0035 12900 ≥1.25 指定數(shù) 40~45   1000~1620
10000 ≥0.5
≥5.0		 ≤350
≤2.3		 ≤0.0176 64600 ≥1.25  
100000 ≥0.5
≥5.0		 ≤3500
≤23		 ≤0.0884 323000 ≥1.25


日本工業(yè)標準JISB-9920-1989中的潔凈度等級
粒徑(μm) 潔凈度等級(個/m3)
1級 2級 3級 4級 5級 6級 7級 8級
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600      
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 0.35 3.5 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0 / / / / 29 290 2900 29000

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